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ロータリーポンプ(油回転ポンプ) |
| ロータリーポンプ(油回転ポンプ/あら引きポンプとも呼ぶ)は、大気圧である105Pa〜10-1Pa台までの低真空と呼ばれる圧力領域で活躍する真空ポンプで、真空装置の基本となる真空機器です。 キヤノンアネルバ株式会社が採用する(仏)アルカテル社製の直結型ロータリー真空ポンプは、性能に優れ信頼性と実績の高いポンプとして、あらゆる真空分野で広くご使用頂いております。 |
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