| トリクロロシラン [Trichlorosilane] |
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| CAS No. | 10025-78-2 | UN No. | 1295 | ||
| GHS分類 |     |
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| 引火性液体 水反応可燃性化学品 自然発火性液体 自己発熱性化学品 酸化性液体 急性毒性（経口） 急性毒性（吸入：蒸気） 皮膚腐食性／刺激性 眼に対する重篤な損傷性／刺激性 特定標的臓器毒性（単回ばく露） |
：区分１ ：区分１ ：区分外 ：区分外 ：区分外 ：区分４ ：区分２ ：区分１Ａ－１Ｃ ：区分１ ：区分２（呼吸器系） |
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| 化学式 | SiHCl3 | 蒸気圧 | 65.8 （20.0℃） | [ kPa ] | |
| 分子量 | 135.5 | 引火点 | -27 | [ ℃ ] | |
| 外観 | 無色・刺激臭の液体 | 発火点 | 185 | [ ℃ ] | |
| ガス比重 | 4.7 （Air = 1） | 蒸発熱 | 6.05 （31.85℃） | [kcal/mol] | |
| ガス密度 | - | [kg/m3] | 比熱 | 0.23 | [kcal/kg] |
| 液密度 | 1.33 （25℃, 0.1MPa） | [kg/L] | 燃焼範囲 | 1.2～90.5 | [ vol% ] |
| 融点 | -126.5 | [ ℃ ] | 許容濃度 | - | [ ppm ] |
| 沸点 | 31.8 | [ ℃ ] | |||
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