高純度プロセスガス用 圧力調整器【AP/SL/BP】

特長

  • 半導体産業など超高純度ガス供給設備・製造装置用途に対応。
  • 豊富な品揃えにより、可燃性・毒性などあらゆるガスに対応。
  • SUS316L(ダブルメルト)材質を使用。
  • 高純度プロセスガスの供給ラインに最適
  • 接ガス部は、電解研磨処理+不動態化処理。
  • 外部メタルシール構造
高純度プロセスガス用 圧力調整器

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圧力調整器

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