SDEシリーズ／MUシリーズ／NeoDryシリーズ
ドライ真空ポンプ（またはドライポンプ）は排気経路にオイル成分を用いない真空ポンプでクリーンな排気を目的に使用されます。
排気可能な圧力領域は大気圧から数Paでロータリーポンプ（油回転ポンプ）と近い領域ですが、不純物を嫌うプロセスを中心に大きな導入効果を発揮します。
樫山工業のドライ真空ポンプは、「スクリュー型」及び「多段ルーツ型」で粉塵や部品の摩耗がない非接触式を採用したポンプで、優れた排気性能・耐久性・省エネ性を誇ります。
SDEシリーズ
排気速度が1300L/min、2000L/min、5000L/min、10000L/min、20000L/min、30000L/min の6種類を揃えたケミカル対応のドライ真空ポンプです。
腐食性ガスの吸引に対応しており、半導体や液晶製造装置などハードプロセスに対応します。
MUシリーズ
排気速度が1660L/min、5000L/min、10000L/min、20000L/min の4種類を揃えた軽負荷用のドライ真空ポンプです。
空気成分の排気や、スパッタ装置、蒸着装置、真空乾燥などの用途に最適です。
NeoDryシリーズ
250L/min、500L/min、600L/min、1000L/min の4種類を揃えた電力のみで運転できる軽負荷用のドライ真空ポンプです。
到達圧力近辺での無負荷連続運転では、3年間メンテナンスフリーで稼働する長寿命型のポンプです。
詳細な仕様説明がカタログにございます。 是非ダウンロードして、内容をお確かめください！
（2020年6月更新）樫山工業は半導体製造装置向けのドライ真空ポンプメーカーとして日本国内シェア１位の実績を誇ります。 半導体・太陽電池・フィルム・電池・電子部品を始めとしたハイテク製品向けから自動車・食品・工業用ガス・一般産業に至るまで幅広い分野での真空を生み出すニーズをカバーできる性能と耐久性を持っています。 CVD・スパッタ・蒸着・アッシャー・乾燥・搬送・脱泡・貼り合わせ・リーク検査・断熱など真空に関わる様々な装置に組み込む事が可能です。
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東横化学(株) 機器・装置事業部 機器販売部
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