セミオートFOUP/キャリア洗浄機

M300はコンパクトでありながら一度に大量のワークを処理可能なセミオートタイプのFOUP/キャリア洗浄機です。ウェハーキャリア、SMIF POD、各種搬送ボックス、300mm用FOUP、FOSB、RSPと様々なワークに対応可能です。チャンバー内のカラムと呼ばれる棚状の枠内に取り付けられたインサートへワークをセットし、回転させながら洗浄、乾燥を行うバッチ処理型の洗浄乾燥装置です。各ワークごとにインサートの形状は異なり、このインサートはワンタッチで交換が可能なため、対象ワークの切替も容易に行えます。

装置内に搭載されている純水加熱器にて加熱された純水、常温の純水をワークにスプレーします。またオプションにより界面活性剤の添加も可能です。
スプレーノズルはチャンバーの外側、内側に付いており、ワークに的確にスプレーします。 洗浄ノズルは3ゾーンに分かれており、これらスプレーのON/OFFを設定可能です。温純水、純水、回転数、スプレーゾーンといったパラメータを任意に設定し洗浄ステップを構築する事で、ワークを確実に洗浄します。
300mmFOUP、FOSBに対してはその内部をより至近距離からスプレー洗浄するため、スウィングアームスプレーノズルを装備。

高速回転による遠心力＋チャンバー外側、内側に取り付けられたIRヒーターの輻射熱＋クリーンルーム内のエアーをチャンバー内へ取り込む事で発生する空気の流れによりワークを完全に乾燥させます。 またワークの隅等の乾燥しにくい部分については、洗浄ノズル同様チャンバーの外側、内側に設けられているスプレーノズルからCDA/N2をスプレーし、乾燥を促進させる事も可能です。 回転数は±200rpm程度となります。

本装置は前面/背面にスライドドアを装備しているため、
前面にてロード→前面よりアンロード
前面にてロード→背面よりアンロード
といったスルーザウォールへも対応しております。
※レシピの編集等のメンテナンス作業は装置前面でしかできないため、必然的にロードは前面で行います。

チャンバー内に取り付けられたカラム（回転枠）の内側にインサートと呼ばれるワークを保持するための機構があります。 インサートはワンタッチで取り付け、取り外しが可能であり、ワークに合わせてこれを交換する事で洗浄対象の変更が容易に行えます。 カラム及びインサートは電解研磨SUS316L製です。

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