薬液供給装置・スラリー供給装置

スラリー液を並列供給方式により安定供給します。スラリー液や酸化剤の高精度な調合が可能。過酸化水素濃度管理システム他、各種スラリーに対応する豊富なオプション類があります。

CMPスラリー液のインライン調合や、薬液の定流量供給に！50～1000mlの流量を自動操作します。

スラリー液中の過酸化水素濃度を測定し濃度を一定に保持します。過酸化水素入りのスラリー液を自動サンプリングし電位差滴定法により濃度を検出します。

ポンプはインバータで制御、流量変化等の外部変化に対して、いつでも安定した純水圧力を確保します。

メッキ液供給システムはメッキ液を200Lドラム缶よりメッキ装置や分析装置に供給します。
メッキ廃液回収システムは、メッキ装置や分析装置よりメッキ廃液を200Lドラム缶に回収します。