ガス一覧（ガスの物性）
SiHCl3 トリクロロシラン
ガス名
トリクロロシラン[Trichlorosilane]
CAS No.
10025-78-2
UN No.
1295
化学式
SiHCl3
分子量
135.5
外観
無色・刺激臭の液体
ガス比重
4.7 （Air = 1）
ガス密度
ー
液密度
1.33（25℃, 0.1MPa）kg/L
融点
-126.5℃
沸点
31.8℃
蒸気圧
65.8 （20.0℃）kPa
引火点
-27℃
発火点
185℃
蒸発熱
6.05 （31.85℃）kcal/mol
比熱
0.23kcal/kg
燃焼範囲
1.2～90.5vol%
許容濃度
ー
GHS分類
SiHCl3 トリクロロシラン(PDF469KB)
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